菲希爾光譜儀 X射線(xiàn)熒光鍍層測(cè)厚儀使用性能主要技術(shù)指標(biāo)：（標(biāo)★為重要參數(shù)）

1、測(cè)量原理：X射線(xiàn)熒光光譜法測(cè)量鍍層厚度

2、測(cè)量方式：無(wú)損檢測(cè)，可自動(dòng)聚焦

3、元素測(cè)量范圍: Cl（17）--U（92），多可測(cè)量24種元素23層鍍層。

★4、手動(dòng)X/Y平臺(tái),移動(dòng)范圍≥95x150mm,可用工作臺(tái)面≥420x450mm

5、電動(dòng)Z軸，手動(dòng)/自動(dòng)聚焦，可移動(dòng)范圍≥140mm

★6、采用DCM（測(cè)量距離補(bǔ)償法）可遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量腔體樣品，可達(dá)80mm深度

★7、滿(mǎn)足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié)，以滿(mǎn)足不同的測(cè)試需求。

★8、準(zhǔn)直器：φ0.3的圓形準(zhǔn)直器

9、X射線(xiàn)探測(cè)器：比例接收器

10、統(tǒng)計(jì)計(jì)算：數(shù)據(jù)組帶時(shí)間和時(shí)期功能，統(tǒng)計(jì)功能包含平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、大值、小值等；還可輸入公差范圍，計(jì)算CP和Cpk值，超范圍值時(shí)儀器應(yīng)有自動(dòng)報(bào)警提示功能

11、windows7以上中文操作界面，WinFTM專(zhuān)業(yè)測(cè)試軟件，具備連接PC和打印機(jī)的USB借口

★12、測(cè)量誤差：鍍層厚度≥0.5um時(shí)，頂層鍍層測(cè)量精度≤5%

★13、采用*基本參數(shù)法，內(nèi)置12純?cè)仡l譜庫(kù)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下測(cè)量

★14 MQ值顯示，用于判定測(cè)量程式是否與樣品匹配，避免誤操作

★15、標(biāo)準(zhǔn)片：配備12種基準(zhǔn)純?cè)兀ˋg,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。

16、具備高分辨率CCD攝像頭，放大倍數(shù)40-160倍。

★17、儀器應(yīng)具有環(huán)保部門(mén)出具的輻射豁免管理函

18、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)：I5處理器，8G內(nèi)存，500G硬盤(pán)，19寸液晶顯示器，彩色噴墨打印機(jī)。

19、工作環(huán)境條件：操作溫度范圍：10℃~40℃；相對(duì)濕度：20%～80%；