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盤(pán)環(huán)件檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)范圍高精度 XYZ 三坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，高分辨率數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)。在 偏載情況下仍能保持系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性。采用 UMAC 多軸控制器和高精度的伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) 誤差補(bǔ)償功能。和良好的噪聲抑制。